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現(xiàn)貨進(jìn)口日本原裝ULVAC愛發(fā)科LR300多級(jí)羅茨式干式真空泵

價(jià)格

￥7,000.00

型號(hào)

LR300

品牌

ULVAC愛發(fā)科

所在地

深圳市

更新時(shí)間

2026-03-03 11:38:08

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多級(jí)羅茨式干式真空泵型號(hào)：LR300

輕型空調(diào)

產(chǎn)品描述

通過在低溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體，該泵不僅適用于 PVD 工藝，也適用于排氣裝卸室，在這些地方，縮短排氣時(shí)間對(duì)于提高吞吐量至關(guān)重要。

特征

低溫范圍內(nèi)均勻加熱（型號(hào)：LR）
除了 PVD 工藝外，它還特別適用于排氣裝卸室，在這些地方，縮短排氣時(shí)間對(duì)于提高吞吐量至關(guān)重要。
它配備了氦氣密封罐式電機(jī)，結(jié)構(gòu)密封，非常安全。
采取措施防止發(fā)生持續(xù)時(shí)間不過 1000 毫秒的瞬時(shí)斷電。
優(yōu)異的耐腐蝕性
：主要部件采用特殊的表面處理工藝，標(biāo)配高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，減少腐蝕性氣體排出時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史記錄等數(shù)據(jù)。通過使用軟件并與計(jì)算機(jī)通信，可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

目的

成膜設(shè)備（濺射設(shè)備/蒸發(fā)設(shè)備等）
縮短準(zhǔn)備和移除室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（用于渦輪分子泵和機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

模型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
*泵速	50赫茲	立方米/小時(shí)^（升/分鐘）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60赫茲	立方米/小時(shí)^（升/分鐘）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
極限壓力			5.0 帕
*進(jìn)氣壓力（吸力壓力）			氣壓
*出口壓力（排氣壓力）			1帕 ≈ 大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)范）			VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口			KF40			VG50
大量的		公斤				5
電力 *1	三相	交流電（赫茲）	200 (50/60), 220 (60)			180~240 / 380~440 (50/60)
當(dāng)前值	穩(wěn)定狀態(tài)	一個(gè)	6.9（200V時(shí)）	11.2（200V時(shí)）	18.9（200V時(shí)）	20.8（200V時(shí)）
	*限度	一個(gè)	7.3（200V時(shí)）	11.8（200V時(shí)）	20.6（200V時(shí)）	48.5（200V時(shí)）
冷卻水臨時(shí)壓力		兆帕	0.1~0.3			0.2~0.5
冷卻水進(jìn)/出口壓差		兆帕	>0.1			>0.2
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0			>4.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
N2吹掃	軸	空間光調(diào)制	5
	加斯巴拉	空間光調(diào)制	0~45			沒有任何	0~45

*1 請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)注明。

模型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T(TT)	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)
泵		DRP	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		MPB	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C(-T)	PRC-036D	PRC-036D(DT)
*泵速	50赫茲	立方米/小時(shí)^（升/分鐘）	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)	1,701 (28,350)	3,200 (53,333)
	60赫茲	立方米/小時(shí)^（升/分鐘）	365 (6,080)	701 （11,700）	10.51億（17500）	1,784 (29,700)	3,200 (53,333)
極限壓力			0.67 帕
*進(jìn)氣壓力（吸力壓力）			氣壓
*出口壓力（排氣壓力）			1帕 ≈ 大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)范）			VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口			KF40				KF50
MBP表面處理			〇 *2	〇 *2	〇 *2	〇 *2	×	T:× TT:×	×	TR：× TTR：〇
大量的		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
電力 *3	三相	交流電（赫茲）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440 (50/60)
當(dāng)前值	穩(wěn)定狀態(tài)	一個(gè)	7.0 （200V時(shí)）	12.3 （200V時(shí)）	13.7 （200V時(shí)）	21.4 （200V時(shí)）	31.0（200V時(shí)） 20.5（400V時(shí)）		35.4（200V時(shí)） 20.5（400V時(shí)）
	*限度	一個(gè)	9.6 （200V時(shí)）	19.0 （200V時(shí)）	24.2 （200V時(shí)）	39.8 （200V時(shí)）	58.4（200V時(shí)） 40.5（400V時(shí)）		82.0（200V時(shí)） 40.5（400V時(shí)）
冷卻水臨時(shí)壓力		兆帕	0.1~0.3				0.2~0.5
冷卻水進(jìn)/出口壓差		兆帕	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0				>4.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
N2吹掃	軸	空間光調(diào)制	5
	加斯巴拉	空間光調(diào)制	0~45				無 *4	0~45	無 *4	0~45

*2 對(duì)于 LR300、LR600、LR1200 和 LR1800 MBP，您可以選擇是否進(jìn)行表面處理。
*3 請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)注明。
*4 我們還可以根據(jù)應(yīng)用情況，提供可使用氣體鎮(zhèn)流器的規(guī)格報(bào)價(jià)。

配件

■消音器

模型

材料

表面
處理

大量的

連接法蘭

LR
300

LR
600

LR
1200

LR
1800

LR
3601

LR
60

LR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

RS-01 +
套件 A

SUS
304

GBB
治療

4.1
公斤

KF40

〇

RS-01 +
套件 B

KF40

〇

RS-02 +
套件 A

8.3
公斤

KF40

〇

RS-02 +
套件 B

KF40

〇

RS-03 +
套件 A

拋光板

12.5
公斤

KF50

〇

RS-03 +
套件 B

〇

排氣速度曲線

LR60	LR90
LR180	LR421-T
LR300 / LR600	LR1200
LR1800	LR3601(-R / -TR / -TTR)
LR3601(-T / -TT)

方面

LR60	LR90
LR180	LR300
LR421	LR421-T
LR600	LR1200
LR1800	LR3601
LR3601-R	LR3601-T
LR3601-TR	LR3601-TT

型號(hào)：LR 支持頁(yè)面

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