ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵型號:MS600A

價格

￥6,800.00

型號

MS600A

品牌

ULVAC愛發(fā)科

所在地

深圳市

更新時間

2026-03-02 16:34:41

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產(chǎn)品簡介

提高了耐腐蝕性和除塵能力

螺桿式干式真空泵型號：MS600A

輕型空調(diào)

產(chǎn)品描述

MS型真空泵屬于螺桿式干式真空泵。它在傳統(tǒng)的LS型真空泵基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能，是一款耐腐蝕性更強(qiáng)的干式真空泵。該真空泵專為涉及腐蝕性氣體和粉末排出的真空工藝而設(shè)計。

MS120A
MS600A
MS1200A

特征

通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊表面處理，可以實現(xiàn)高耐腐蝕性。
ULVAC的螺旋式轉(zhuǎn)子軸設(shè)計實現(xiàn)了高粉末排出性能。
從大氣壓到極限壓力，整個壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運(yùn)行。

目的

電子元件和半導(dǎo)體制造設(shè)備
、蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。
真空熱處理爐
、燒結(jié)爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)。
鋰電池制造設(shè)備
、電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、液體注入設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。
用于醫(yī)療和食品相關(guān)設(shè)備的真空排氣
冷凍干燥設(shè)備、真空干燥機(jī)等。

*MS1200A 可提供其他控制板和傳感器規(guī)格。詳情請聯(lián)系我們。

規(guī)格

模型		MS120A	MS600A	MS1200A
泵速1	立方米^/小時	115	560	980
極限壓力	賓夕法尼亞州	≤0.6	≤0.1
電源電壓		三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
大約功耗*2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
吹掃氣體體積*1	空間光調(diào)制	0~50
水蒸氣處理能力 1*3	公斤/小時	1.5
噪音等級 *2	分貝(A)	61	62	64
進(jìn)氣口		KF50（水平）/ VG50（垂直）	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質(zhì)量*4	公斤	139	241	264
合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)配件		快速使用手冊、電源連接器、防水電纜夾、信號連接器、電源連接器保護(hù)罩、消音器套裝
主機(jī)選項		電源電壓：200V 或 400V 級；密封材料：氟橡膠 (FKM) 或全氟橡膠 (FFKM)
外部選項		外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元（進(jìn)氣口、信號燈）、吹掃氣閥

*1：代表值
*2：極限壓力下的值
*3：使用吹掃氣體時的*水蒸氣通量
*4：包含消音器

排氣速度曲線

MS120A	MS600A
MS1200A

方面

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