特征

• 
  可以將化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝過程中高溫區(qū)域浸泡產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)形式排出。
  “UR 型”設(shè)備甚至可以達(dá)到比“HR 型”設(shè)備更高的溫度。
• 
  它配備了氦氣密封罐式電機，結(jié)構(gòu)密封，非常安全。
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  采取措施防止發(fā)生持續(xù)時間不過 1000 毫秒的瞬時斷電。
• 優(yōu)異的耐腐蝕性
  ：主要部件均采用特殊的表面處理工藝，具有較高的表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，可減少泵在排出腐蝕性氣體時內(nèi)部的腐蝕。
• 通信功能：
  可讀取泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史記錄等數(shù)據(jù)。通過使用軟件并與計算機通信，可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

目的

規(guī)格

*1 請勿在入口壓力為 200 Pa 或更高時連續(xù)操作 HR300、HR600 或 HR1200。